纳米定位平台的设计从上面的简要介绍中可以清楚地看出,为什么只考虑每个轴的共振频率无法提供纳米定位系统性能的准确图片。也正因如此,多数情况下,只有定制系统才能满足各个应用程序的特定要求。例如,必须选择与应用相匹配的共振频率特性的结构材料和平台设计。此计算中的一个关键因素是施加的载荷。这就是为什么我们经常在许多数据表中关注负载性能,因为这个标准能更好地反映平台的实际用途。一般来说,作用在平台上的负载越大,平台的共振频率就越低。我们的高刚度平台意味着共振频率受负载变化的影响较小,因此任何动态调谐对负载的变化都不太敏感。显微镜自动化改造方案研究压电纳米定位台配备有机械固定安装接口与负载安装接口。
压电纳米扫描系统是由精密压电纳米定位台与压电控制器组成,系统可完成单轴或多轴的纳米精度的运动控制。下图中为芯明天的一款小体积型Z向压电纳米扫描系统。干涉测量是基于电磁波的干涉理论,通过检测相干电磁波的干涉图样、频率、振幅、相位等属性,将其应用于各种相关测量的技术的统称。用于实现干涉测量术的仪器被称作干涉仪。在当今科研领域、工业领域等,干涉测量术都发挥着重要作用,包括天文学、光纤光学、工程测量学等。在干涉测量中常用的工具是迈克尔逊干涉仪,一般可将相干光源的单条入射光束分成两条相同的光束。每条光束的传播路径(称为光程)不同,并在到达探测器之前重新会合。每条光束的传播距离不同使它们之间产生相位差。该相位差形成了可通过探测器捕获的干涉条纹。如果单条光束沿两个光路分开(测量光路和参考光路),则利用相位差便可判断出所有可改变光束相位的因素。
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