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激光式位置传感器性能评价 北京微纳光科仪器供应

     2024-04-28 15:18:55     4
 什么是六自由度压电纳米定位台,它的作用是什么?六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。

六自由度压电定位台应用举例-光纤对接调整。六自由度压电定位台应用举例-光纤对接调整光纤裸纤一般分为三层,中心高折射率真玻璃芯、中间为低折射率真硅玻璃包层、外层为加强用的树脂涂层。入射到光纤端面的光并不能全部被光纤所传输,只有在某个角度范围内的入射光才会被传输。这个角度被称为数值孔径,越大对光纤的传输越有利。压电纳米定位台的工作原理及典型应用。激光式位置传感器性能评价

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压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置*传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。压电陶瓷精密调节技术测试校准系统是将纳米位移系统内部的“标尺”与米定义联系起来,实现量值的溯源。

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干涉物镜就是将显微镜物镜与干涉仪结合起来设计而成的一种特殊的显微镜物镜。它的原理是一束光通过分光镜后,将光直接射向样品表面和内置反光镜,从样品表面反射的光线和内置反射镜反射的光线再结合,就产生了干涉图案。干涉物镜可用在非接触光学压型测量设备上,通过此物镜可得到表面位图和表面测量参数等,也可用来检测表面粗糙度,测量精度非常高,在一个波长之内。在系统工作时,通过纳米移动台驱动待测样本表面在垂直方向上均匀、缓慢、连续运动,改变测量光路与参考光路的光程差。垂直扫描的过程中,相机依次获取一系列的白光干涉图,通过三维形貌恢复算法计算并定位出每个像素点的零光程差位置,即可得到相应的高度信息,从而恢复出待测表面的三维形貌。

纳米定位平台的设计从上面的简要介绍中可以清楚地看出,为什么考虑每个轴的共振频率无法提供纳米定位系统性能的准确图片。也正因如此,多数情况下,只有定制系统才能满足各个应用程序的特定要求。例如,必须选择与应用相匹配的共振频率特性的结构材料和平台设计。此计算中的一个关键因素是施加的载荷。这就是为什么我们经常在许多数据表中关注负载性能,因为这个标准能更好地反映平台的实际用途。一般来说,作用在平台上的负载越大,平台的共振频率就越低。我们的高刚度平台意味着共振频率受负载变化的影响较小,因此任何动态调谐对负载的变化都不太敏感。可根据需求提供或定制微米领域的电动手动移动台。

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