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研磨液厂家--- 什么是CMP研磨液Slurry

     2023-08-29 11:06:18     0
CMP研磨液(Slurry)是化学机械平面工艺中的研磨材料和化学添加剂的混合物。Slurry主要是由磨料 、表面活性剂、氧化剂、PH缓冲胶和防腐剂等成分组成。其中磨料一般包括二氧化硅(SiO2)、 三氧化二铝(Al2O3)、 氧化铈(CeO2),金刚石(单晶、多晶)等。
通俗来讲,芯片制造就像盖高楼,一层一层往上叠加,要想楼不塌,在制造下一层前必须确保本层的平坦度,这就是CMP平坦化的诉求。Wafer晶圆在制造过程中表面上是不平坦的,比如CVD、PVD、EPI、Tungsten Plug等等工艺过程,无法达到需要的平坦度,这就需要化学机械研磨平坦化处理。
CMP化学机械平坦化过程中通过研磨液和
研磨垫的机械作用和化学作用交替去除铜膜、氧化硅膜、氮化硅膜、钨膜、硅膜、LOW-K膜,Wafer达到平坦化效果。吉致电子CMP研磨液:Wafer研磨液、蓝宝石研磨液陶瓷覆铜板研磨液氧化铝研磨液氧化铈研磨液等。免费CMP研磨液样品可联系:17706168670
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