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稀土抛光液--氧化铈抛光液的种类

     2023-08-25 13:14:17     0
随着光学技术和集成电路技术的飞速发展,对光学元件的精密和超精密抛光以及集成电路的CMP抛光液工艺的要求越来越高,甚至达到了极其苛刻的程度,尤其是在表面粗糙度和缺陷的控制方面。铈系稀土抛光液因其切削能力强、抛光精度高、抛光质量好、使用寿命长,在光学精密抛光领域发挥了极其重要的作用。吉致电子http://www.jzdz-wx.com/氧化铈抛光液的种类和固含量可按抛光工件的用途来分:根据氧化铈的含量,氧化铈抛光液可分为低铈、中铈和高铈抛光液,其切削力和使用寿命也由低到高。
1.含95%以上氧化铈的铈抛光液呈淡黄色,比重约7.3。主要适用于精密光学镜片的高速抛光。该抛光粉性能优异,抛光效果好。
2.中铈CeO2抛光液,含氧化铈70%~85%,呈黄色或褐色,比重约6.5。主要适用于光学仪器中精密小球面透镜的高速抛光。
3.低铈稀土抛光液,含氧化铈40%~60%,适用于电视显像管、眼镜片和平板玻璃。
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