因此，很有必要研究并升级CMP抛光工艺在蓝宝石窗口上的应用，选择适用的CMP抛光液。目前国内批量生产蓝宝石衬底的技术还不成熟，切割出来的蓝宝石晶片有很深的加工痕迹，抛光后容易形成麻点或划痕。在蓝宝石衬底的生产中，裂纹和崩边的情况比较高，占总数的5%-8%。抛光过程中影响抛光质量的因素很多，如抛光液的成分和PH值、压力、温度、流量、转速、抛光垫的质量等。
蓝宝石抛光对化学机械抛光液的材质要求很高。太软的磨料会导致抛光时间过长，抛光效果不理想。目前适用于蓝宝石抛光液主要选择钻石抛光液。钻石抛光液以人造金刚石为磨料，硬度高、韧性好，配合蓝宝石抛光垫一起使用减薄速率快，切削力好。想要达到镜面效果，可以使用氧化硅抛光液和精抛垫进行深入加工，达到精抛的效果。
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