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CMP抛光液的抛光磨料有哪些？

     2023-08-25 10:46:34     0
CMP抛光液的抛光磨料有哪些？
化学机械抛光液中常用的抛光磨料种类可分为天然磨料和人造磨料，吉致抛光液磨料也是在这类磨料基础上调配出专利配方用于精密工件抛磨，提升光洁度。
1.天然磨料:自然界中所有可用于研磨或磨削的材料统称为天然磨料。常用的天然磨料如下:金刚石、天然刚玉、石榴石和石英。
2.人造磨料:人造磨料分为刚玉系列、碳化物系列、硬质系列。
刚玉系人造磨料：棕刚玉、白刚玉、锆刚玉、微晶刚玉、单晶刚玉、铬刚玉、镨钕刚玉、黑刚玉和矾土烧结刚玉。
碳化硅系人造磨料：碳化硅、铈碳化硅、碳化硼、碳硅硼。
硬质人造磨料系列：金刚石（人造钻石）和立方氮化硼。
随着科学技术的发展，人造磨料品种已达几十种，天然磨料由于自身的缺陷，已被越来越多的人造磨料所取代。
用于CMP化学机械抛光液的磨料有：金刚石微粉、氧化铈微粉、氧化铝微粉等。在这些微粉基础上通过工艺制备出的纳米级的微粒，可制成钻石抛光液、稀土抛光液、氧化铝抛光液、硅溶胶抛光液等。
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